另一个姓苏，四十出头，手里拿着一支铅笔，正在另一张图纸上做标注。

古工放下放大镜，转过身来：“许大队长，这个光刻机整体方案是完整的，但有几处零件精度要求超过国内目前常规工艺的水平。光学镜组的曲面加工公差在几个微米级别，国内能做这个精度的设备少。”

许锋走到桌边：“哪些零件？”

古工拿起一张图纸，指着其中一处标注：“这几片非球面镜的曲面方程在这里，设计曲面的曲率半径和国内现有设备的标准加工参数之间有偏差，如果用现有设备加工，精度会差出一截，达不到图纸上的设计指标。”

许锋站在桌前看了半分钟那张图纸，孤狼系统在后台自动运行，根据图纸上的曲率参数和许锋已兑换的一体化加工中心的技术参数，初步判断两者之间的兼容性：“一体化加工中心应该有配套的补偿算法，可以根据曲率偏差做实时修正。等加工中心装好了，先做一组标定测试。”

古工没有接话，低头又看了一遍那张图纸，才抬头说：“如果能做到纳米级补偿，那就不成问题了。”

许锋说：

“能做。”

古工放下放大镜，把图纸卷好放回图纸筒：“那我先把这几片镜组的曲面加工方案做出来。等加工中心到位，直接验证。”

苏工在旁边一直没有说话。他铅笔头放在桌上，从桌上的图纸中抽出一张底层的结构布局图，那是一张光刻机整机底座的工程图，用细密的线条标注了各个子系统的位置和连接方式，角落有他手写的几行计算。

他走到另一张桌子前，打开笔记本电脑，调出一个三维模型：

“我这边在检查整机的结构布局。根据图纸里的尺寸参数，底座和曝光系统之间的刚性连接方案需要微调。原方案里有一些用于吸收低频振动的结构设计，但低频段的减振参数是以旧型号地基的刚度推算的。我根据咱们地下数据中心的实际地基刚度做了重新计算，建议把减振支撑的刚度系数调高百分之三十。”

许锋走到他屏幕前看了一会儿三维模型。

模型上的每一个部件都被标注了编号，整台光刻机的内部结构以剖面方式显示，清晰标注了曝光系统、光学镜组、精密运动平台等主要子系统的空间位置和连接关系。

“刚度系数调高百分之三十，会不会影响其他子系统的共振频率？”

苏工调出另一张频谱图：“已经算过了。调整之后的光学系统基频会从四十二赫兹上移到四十八赫兹，这个频率不会和周边其他干扰源的频段发生重叠，不会对关键子系统产生明显影响。”

“好。把最终的刚度参数发给陈工，让他的路径规划算法在计算底座系统响应的时候同步更新。”

苏工点了点头，在键盘上敲了几下，把调整后的参数保存到共享文件里。

当天傍晚，许锋站在施工区域边缘，看着东西两侧同时推进的进度。

研究中心楼体已经起了近十米高，厂区的钢结构框架正在成型。

龙王从工地那边走过来：“今天怎么样？”

许锋收回视线：“还行。赵明远那边材料配方有进展了，孙国栋的冷却系统管路设计也基本定了。光刻机专家的方案对接也确认了。”

龙王站在他旁边：“那就好，一步一步往前走。”