许锋开口：

“你们还需要什么条件才能开始装配？直接说。”

古工和苏工对视了一眼。

古工先开口：

“光学镜组的毛坯料。高纯度石英玻璃，直径不小于两百毫米，光学均匀性要求在十的负六次方级别。这是镜组加工的基础原材料，没有这个，后续所有工序都无从谈起。”

“这个已经在采购了。样品下周到，赵明远会做材料性能验证。继续。”

苏工接着古工的话往下说：

“精密运动平台的核心驱动组件——磁悬浮直线电机和压电陶瓷致动器。这两个组件决定了运动平台的定位精度，图纸上标注的重复定位精度要求在纳米级别。目前国内常规供应渠道的产品达不到这个精度，需要重新选型或者自己改。”

古工在旁边补充：

“压电陶瓷致动器军科院有储备，精度够用，磁悬浮直线电机需要定制，我已经把参数包发给供应商，初步反馈是能做，但交货周期至少四周。”

许锋在心里默算了一下时间线。

光学镜组毛坯料下周到位，加工周期大约需要两到三周，这是洁净车间里最耗时间的工序。

精密运动平台的定制电机四周到货，和其他组件的装配周期基本重合。

曝光系统的光源模组陈振华已经在军科院那边协调了，预计两周内到位。

综合算下来，光刻机基础版样品的装配调试可以在四个月内完成，比系统最初预估的四到五个月缩短了近一个月的周期。

“电机采购的审批流程如果卡住，直接找龙王。供应那边需要的采购资金走龙牙专项账户，不需要经过常规审批。”

许锋说完，转向古工：

“装配开始之后，你们的工序怎么排？”

古工走到东南角的装配工位前面，用手在空气中比划：

“第一阶段，光学镜组的加工和镀膜。这是整个光刻机装配中最关键的一步，镜片的曲面精度直接决定了曝光系统的成像质量。光学镜组一共七片，其中非球面镜三片，球面镜四片。加工顺序从大尺寸镜片往小尺寸走，三片非球面镜放在最后，因为加工难度最大。”

他的手往西北角移动：

“第二阶段，精密运动平台的装配和调试。运动平台是晶圆承载和移动的核心组件，图纸上标注的定位精度是零点五纳米。这个精度需要在实际调试中反复校准，运动平台装好之后要和光学系统做联合校准，整个调试过程不会少于两周。”

苏工接过了话题：

“第三阶段，总装和试制，光学系统、运动平台、曝光系统、控制系统——四个子系统全部装配到位之后，进行首次联调。联调通过之后进行第一次试制，用试制晶圆验证整机的曝光精度和重复定位精度。”

许锋听完两人的排序：“时间上有什么瓶颈？”