苏云杉最后总结道：“总之一句话，我可以负责任地告诉各位领导，这是当今世界上最先进的光刻机。”

天呐——

无尘实验室一片沉寂，安静得只能听到各自的心跳声和呼吸声。

市领导和校领导很清楚，0.5nm实验室试产、1nm规模化量产、100%国产化率，这三组数据意味着什么。

此前全球高端光刻领域，EUV技术被阿斯麦尔独家垄断，国内先进制程芯片始终被卡在瓶颈，如今这台国产设备的问世，堪称弯道超车，直接跳过EUV，站在HighNAEUV的领头羊位置。

但……

数据终归是数据……

实际能做到吗？

这个问题，皇甫君也想知道，没等市领导开口，她先忍不住道：“苏总，要不…现在开启测试？”

这话问到了所有人的心坎里，一个个面露期待，包括教授、研究员、副教授等协作团队。

他们只是按照苏云杉的要求制造零件、组装、调试，对于能否系统化运转，甚至达到设计要求，并不确定。

苏云杉抬起腕表看时间，“刚好9点整，好，请工作人员就位，听我指令，正式开启首次测试。”

一位工程师紧张地站在主控台前，由于设备高度自动化，人工干预较少，只需一人操作即可。

众人凝神屏息，面露紧张之色。

苏云杉平静地发布指令：“开始上机前自检，执行S1全链路校验。”

唰——

终端界面瞬间刷新海量数据流，整机光源系统、七组超高精度反射镜组、双工件台、精密对焦系统、光路校准模块同步启动自检。

屏幕上，光路偏差、镜面面形误差、工件台定位参数、真空洁净度、激光光斑均匀性等上百项核心指标，逐条跳转为绿色合格状态。

苏云杉继续下达指令：“载入1nm标准SRAM光刻版图，启动光源预激发，功率拉至320W稳态。”

嗡——

设备内部传出一阵极其低沉、稳定、细腻的机械共振声，没有剧烈震动，没有刺眼光亮，极致精密的工业设备，运转起来只有近乎细微的低频嗡鸣。

咚咚…咚咚…咚咚……

皇甫君心跳加速，紧盯腔体内部。

只见13.5nm极紫外高能等离子光源瞬间起弧，经过多层高精度光学镜组，多次反射、收敛、匀化，一束极窄的EUV光束，沿着超长真空光路贯穿整机，精准投射至晶圆表面。

啧啧啧……

安若素心中暗叹：好科幻的样子…这玩意儿是我老公造出来的？他怕不是个外星人吧……