陈默笑了笑：「我刚在隔壁讲完气态锂，听说您在这儿，过来学习学习！」

闫涛南眼神里，闪过一丝复杂。

他对「橙子」这个名字，其实藏著一份特殊的情感。

无关橙子手机，而是源于橙科精密。

正是这家来自种花家的企业，为阿斯唛提供对准系统，一举将EUV的良率拉高10%。

其重要程度直逼北美Cymar的新光源与蔡斯新一代光学，让阿斯唛的EUV光刻机，提前两年具备市场化量产能力。

「陈总客气了！橙科精密的产品，我们一直在用，CK—PAS1.0的零位漂移率进入实测之后，比我们预期的还要好！」

陈默点头：「闫博士，刚才您讲的光刻机国产化问题，我其实有一个不同的思路！」

闫涛南挑眉：「哦？愿闻其详！」

陈默看了看周围，而后笑著开口。

「如果不用一台机器，而用一套系统呢？」

闫涛南愣住了：「什么意思？」

陈默用手指在桌上画了一个圈。

「光刻机本质上，是一套极端精密的光学+机械+控制系统。

如果把它拆开...

光源是一套，光学系统是一套，传动工件台是一套，对准系统是一套，辅助系统是一套。

每一套，都可以是一个独立的「光刻模块」。」

他抬起头，看著闫涛南。

「如果把这些模块，用工厂的方式串联起来，而不是集成在一台机器里呢？

比如，我完全可以做一个几百米长的光刻厂」，工件在轨道上移动，依次经过各个模块一光源模块、掩模模块、曝光模块、检测模块...」

闫涛南的瞳孔微微收缩。

他张了张嘴，粗想之下居然觉得并非不可能，于是没有立刻反驳。

陈默继续说：「这样做的优势是，每个模块可以独立优化，独立升级。

而且，我不需要把几十吨重的机器做到纳米级稳定。

因为工件是移动的，模块是固定的，稳定性的要求会降低几个数量级。」

「当然，缺点也很明显..

占地面积大，生产效率低，不适合大规模量产。

但是，如果只用来做关键晶片的批量试制，或者做特种晶片，这个方案完全可行！」